Multiquellen-Sputteranlage OCTOPUS

 

Das Gebiet der magnetischen Schichtsysteme stellt wissenschaftlich eine große Heraus­forderung dar. Gleichzeitig birgt es ein enormes technologisches Potential. Gegenwärtig reichen die Anwendungen von der Sensorik und Aktuatorik über die hochdichte magnetische Datenspeicherung bis hin zur Magnetoelektronik oder Spintronik. In all diesen Anwendungen ist es notwendig, komplizierte Stapelfolgen verschiedener magnetischer und nicht­magnetischer Materialien mit Einzelschichtdicken im Nanometer- und Subnanometerbereich reproduzierbar aufzubauen. Die Herstellung und Charakterisierung von Schichtsystemen mit neuartigen magnetischen Eigenschaften wird deshalb international mit großem Einsatz und Aufwand verfolgt. Für die Abteilung “Dünnschichtsysteme und Nanostrukturen” wurde vom Bereich Forschungstechnik eine international konkurrenzfähige Anlage zur Präparation komplexer magnetischer Schichtsysteme entwickelt. Hinter dem Namen OCTOPUS (OCTuple sOurce sPUttering System) verbirgt sich eine 8-Quellen Magnetron-Sputteranlage in Hochvakuumtechnologie. Durch einen rotierenden Teller mit Mehrfach-Substrataufnahme können sequentiell mehrere Proben bis zu 3“ Wafergröße hergestellt werden. Der spezielle Aufbau ermöglicht insbesondere auch die Präparation von Multilagenschichtsystemen. Durch die Kombination von Hochfrequenz- und Gleichspannungs-Sputtertechniken können sowohl leitfähige als auch isolierende Schichten aufgewachsen werden.

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Sputter-Anlage OCTOPUS im Dünnschichtlabor des IFW