11. Deutsches Anwendertreffen "Analytische Glimmentladungs-Spektrometrie" 2004 in Dresden

 

Montag 13,  September

Programm

 

10:00 Prof. K. Wetzig Begrüßung
  Themenkreis

„Dünne Schichten“, Leitung: R. Dorka

10:20 M. Köster

Analyse dünnster Schichten am Beispiel galvanischer Chromüberzüge mit Dicken zwischen 30 und 300 nm

10:40

R. Hübner

GDOES-Tiefenprofilanalysen zur Untersuchung der thermischen Stabilität und Versagensmechanismen von Ta-basierten Diffusionsbarrieren für die Cu-Metallisierung

11:00 C. Venzago  

Ultraspurenanalytik an Si-Schichten als Schicht- und Tiefenprofilanalysen

11:20 Th. Brixius

Aktuelle Aktivitäten des VDEh-Arbeitskreises „Chemische Charakterisierung technischer Oberflächen“

11:40   Poster Pause
  Themenkreis

„Grundlagen“, Leitung: V. Hoffmann

12:00 D. Fliegel

Parameter, die die Leistungsfähigkeit der gepulsten GD-ToF-MS für die qualitative Analyse chemischer Spezies beeinflussen

12:20 P. Šmid

Optische Emissionsspektren von Metall-Nitriden in der Grimmschen Glimmentladung

12:40 E.B.M. Steers

Untersuchungen von Grimmschen Glimmentladungen bei sehr hoher Auflösung

13:00   Mittagessen – Poster
    "Firmenpräsentation", Leitung: Prof. C. Vogt
14:00 Ch. Deraed  

Jobin Yvon; Neue Entwicklungen in der RF-GD-OES erweitern den Bereich der Anwendungen

14:20 H. Lehmkämper  

Neue Entwicklungen bei LECO

14:40 M. Analytis  

Spectruma Analytik; Neuentwickelte, hochauflösende CCD-Optik für die GD-OES

15:00    

Pause – Poster

15:30    

Posterdiskussion

16:00    Laborführung
Besprechung der EW-GDS-Leitung
18:00    

Führung durch die Kasematten
Ort: Brühlsche Terrasse gegenüber der Frauenkirche

19:30    

Geselliger Abend, Ort: Italienisches Dörfchen (neben der Semperoper)

 

 

Dienstag 14, September 2004

 

  Themenkreis

„Sputterraten“, Leitung: Th. Asam

9:00

W. Verscharen

Geometrie des Sputterprozesses - Sputtergeschwindigkeit

9:20 J. Koglin

Innovative optische Oberflächenmeßtechnik

9:40 M. Hermenau

Auswertung wichtiger Parameter aus 3D-Tiefenprofilmessungen an GD-OES Sputterkratern

10:00 Diskussionsrunde  
  • Standardisierung
 
  • Dünne Schichten
 
10:30   Pause
11:00  

Besprechung des deutschen GDS-Anwenderkreises:

  • Kooperation zwischen Industrie und Forschungseinrichtungen / laufende bzw. beabsichtigte Projekte

  • Weitere Aktivitäten / nächstes Anwendertreffen

  • Leitung des Anwenderkreises

 
12:00   Ende des Anwendertreffens
13:00 A. Bengtson Vortrag von  auf der AOFA 13, Ort: Hörsaalzentrum der TU Dresden, Bergstraße 64

 

 

Poster

 

L. Wilken

Glimmentladungsquelle mit integrierter Hochfrequenz-Meßtechnik zur Auswertung charakteristischer Entladungseigenschaften

 

N.C.W. Kuijpers

 

Die Bestimmung der Nitrierschichtdicke von Antriebsriemenringen mittels GDS

 V.-D. Hodoroaba  

Erste Ergebnisse bei der Suche nach geeigneten Kandidaten für die Herstellung von CRM für die Bestimmung von Wasserstoff in Festkörpern

 M. Stangl  

Quantitativer Nachweis organischer Verunreinigungen auf und in elektrochemisch abgeschiedenen Kupferschichten mittels RF-GD-OES und TGHE

 

 

 

Kontakt:                                               

 

 

 

Dr. Volker Hoffmann 
Tel. (0351) 4659-691/ -701 
Fax (0351) 4659-452 
E-mail: v.hoffmann@ifw-dresden
Brit Präßler-Wüstling 
Tel. (0351) 4659-217 
Fax (0351) 4659-452 
E-mail: b.wuestling@ifw-dresden.de 

 

 

 

 

 Abstracts