Ionenstrahlunterstütztes Elektronenstrahlverdampfen von Übergangsmetallnitriden
Diplomarbeit für Physiker oder Werkstoffwissenschaftler
Mit Hilfe der ionenstrahlunterstützten Deposition können hochtexturierte Schichten auf amorphen Unterlagen hergestellt werden, wie sie unter anderem für die Abscheidung des Hochtemperatursupraleiters YBCO benötigt werden. Ziel der Arbeit ist es, eine scharfe Würfeltextur in dünnen Nitridschichten (TiN, NbN) durch ionenstrahlunterstütztes Elektronenstrahlverdampfen zu erreichen. Dabei soll die Abhängigkeit der Texturschärfe von verschiedenen Depositionsparametern untersucht werden. Durch einen Vergleich mit der ionenstrahlunterstützten Laserdeposition soll der Einfluss des Depositionsverfahrens auf die Texturentwicklung in den Schichten charakterisiert werden. Das Thema wird für Diplomanden in Physik oder Werkstoffwissenschaften angeboten.
Kontakt: Dr. Ruben Hühne