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Mikroskopie
Rasterelektronenmikroskop (REM) GEMINI Leo 1530, incl. Bruker EDX- & EBSD-System
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Hersteller: Zeiss
e
-
-Quelle: Schottky Feldemissionskathode
Beschleunigungsspannung: 0,2–30 kV
Hochauflösende Bildgebung durch SE, BSE und InLens-Detektoren bis 3 nm
Vergrößerung: 20X–900.000X
5-Achsen-Proben-Tisch ermöglicht Verkippung und Rotation
EDX-Detektor (Bruker) für Element-Analyse
Strukturuntersuchung von Kristallen durch EBSD-Detektor (Bruker)
auch magnetischen Proben untersuchbar
Mögliche Erweiterungen: Heiztisch bis 500°C, DDS32 Zug-Druck-Modul (K&W), TKD-Messkopf für EBSD-Detektor
Optisches Digitalmikroskop VHX-6000
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Hersteller: Keyence
Vergrößerung: 20X–2500X
Auflösung: 2048 x 1536 pixel
Schnelle Vermessung von Bildobjekten
Automatische Partikelmessung
Erzeugung von 3-dim. Flächen bzw. 3D-Modellen incl. Höhenprofil
Softwareseitige Bildverbesserung durch Glanzentfernung, HDR, u.a.
Beleuchtung und Betrachtung aus unterschiedlichen Winkeln durch schwenkbaren Kamera-Kopf möglich.
Fo
Fotos: M. Otto / IFW Dresden